超纯水的制备主要包括：预脱盐和精处理脱盐两大部分。预脱盐常常采用离子交换工艺和反渗透工艺。而预脱盐后续的精脱盐则根据目标水质的要求而有所不同，对超高纯水，一般采用EDI技术；而对要求低一点的纯水，可采用混床技术。